特許

J-GLOBAL ID：200903004798050924

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ

発明者： 守谷 壮一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030472
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223404
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 圧電体素子に印加される電界強度に応じて最適な鉛の過剰含有量を調整することで、圧電定数を最適化できる圧電体素子を提供する。【解決手段】 本発明では化学量論比から要求される鉛量よりも過剰の鉛を含む圧電体膜を成膜する際に、圧電体膜の膜厚をt(cm)、印加電圧をVh(kV)としたとき、-0.005≦A≦-0.0005、及び1.1≦B≦1.6の条件を満たす定数A、Bを用いて、圧電体膜に含まれる鉛の過剰比をA(Vh/t)+Bの範囲に調整する。鉛の過剰比を上記の範囲に調整することで、圧電体素子に印加される電界強度に応じて圧電定数d31を最大値に設定することができる。

請求項（抜粋）：

化学量論比から要求される鉛量よりも過剰の鉛を含む圧電体膜と、当該圧電体膜に所望の電圧を印加するための電極とを備える圧電体素子において、前記圧電体膜の膜厚をt(cm)、印加電圧をVh(kV)としたとき、前記圧電体膜に含まれる鉛の過剰比は、-0.005≦A≦-0.0005、及び1.1≦B≦1.6を満たす定数A、Bを用いて、A(Vh/t)+Bと表すことができることを特徴とする圧電体素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 F ,  H01L 41/22 Z

Fターム (16件)：

2C057AF99 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AP58 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電体薄膜素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137892   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-123734   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-081690   出願人：セイコーエプソン株式会社
• インクジェット式記録ヘッド、その製造方法および圧電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-076248   出願人：セイコーエプソン株式会社