特許
J-GLOBAL ID:200903004120013581
窒化物系発光素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
八田 幹雄
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-069399
公開番号(公開出願番号):特開2005-260245
出願日: 2005年03月11日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】窒化物系発光素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】窒素物系発光素子は、基板110、n型クラッド層130、活性層140、p型クラッド層150、格子セル層160及びオーミック接触層が順次に積層された構造よりなっている。また格子セル層160は導電性を有する素材で30μm以下の大きさを有する粒子型セルがオーミック接触層内に埋め込まれて、相互離隔されて形成されている発光素子である。このような窒素物系発光素子とその製造方法は、p型クラッド層とのオーミック接触特性が改善されているため発光効率及び素子寿命を向上させ、かつウェーハ成長後の活性化工程を省略できて、製造工程を単純化させうる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
n型クラッド層とp型クラッド層との間に活性層を有する窒化物系発光素子において、
前記p型クラッド層上に導電性を有する素材で30μm以下の大きさを有する粒子型セルが相互離隔されて形成された格子セル層と、
前記p型クラッド層と前記格子セル層上に形成されたオーミック接触層と、を備えることを特徴とする窒化物系発光素子。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L33/00 C
, H01L33/00 E
, H01L21/28 301B
Fターム (38件):
4M104AA04
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB13
, 4M104BB14
, 4M104BB30
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104DD78
, 4M104DD79
, 4M104FF13
, 4M104GG04
, 4M104HH15
, 5F041AA03
, 5F041AA21
, 5F041AA42
, 5F041AA43
, 5F041AA44
, 5F041CA04
, 5F041CA05
, 5F041CA12
, 5F041CA13
, 5F041CA40
, 5F041CA49
, 5F041CA57
, 5F041CA67
, 5F041CA73
, 5F041CA83
, 5F041CA84
, 5F041CA88
, 5F041CA92
, 5F041CA93
, 5F041CB36
引用特許:
出願人引用 (1件)
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米国公開特許第2002/0171087A1号明細書
審査官引用 (3件)
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