特許
J-GLOBAL ID：200903004130535802

外観検査方法及びその装置

発明者：
木下 真言

木下 真言 について


出願人/特許権者：
リコーマイクロエレクトロニクス株式会社

リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265714
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081319
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 基板を載置したXYステージの停止に伴う振動の影響をうけずに基板上の被検査部を撮像可能とすることにより、検査時間の短くすることができる外観検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】 高速カメラ4と、基板を載置したXYステージ5を駆動するステージ駆動部101とを備えた外観検査装置において、高速カメラ4の撮像位置と基板6上の各被検査部とが重なるようにXYステージ5を駆動して基板6を連続して移動させるとともに、各被検査部と該撮像位置とが重なったタイミングで高速カメラ4による撮像を行うように、ステージ駆動部101及び高速カメラ4を制御する制御不100を設ける。
請求項（抜粋）：
検査対象物上の複数の被検査部を撮像手段で撮像することにより、該検査対象物を検査する外観検査方法において、該撮像手段の撮像位置と該検査対象物上の各被検査部とが重なるように該撮像手段及び該検査対象物の少なくとも一方を連続して移動させ、各被検査部と該撮像位置とが重なったタイミングで該撮像手段による撮像を行うことを特徴とする外観検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24 ,  B23K 1/00 ,  G01N 21/88 ,  H05K 3/34 512
FI (5件)：
G01B 11/24 C ,  G01B 11/24 K ,  B23K 1/00 A ,  H05K 3/34 512 B ,  G01N 21/88 645 B
Fターム (40件)：
2F065AA45 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065CC28 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF64 ,  2F065FF67 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065MM24 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EA17 ,  5E319AA03 ,  5E319AB01 ,  5E319CD52 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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