特許

J-GLOBAL ID：200903004131384840

リソグラフ露光の監視方法および装置

発明者： マイケル・ストレート・ヒッブス ,  ウィリアム・チャールズ・ジョイス
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331374
公開番号（公開出願番号）：特開平8-272070
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 投影レンズによる結像後に、線形の光度分布を作り出すマスク構造を設けて、頻繁に集束が行われ、低速で高価な測定ツールに対する依存が少ない露光モニタを提供する。【解決手段】 露光モニタは回折効果を利用して、グレー・スケール・フィーチャを結像するためのマスク上に配置された異なる光学濃度の接合領域を有する。臨界フィーチャ・サイズに対してグレー・スケール・フィーチャのサイズを較正した後、グレー・スケール・フィーチャを結像して、露光による臨界フィーチャをモニタする。

請求項（抜粋）：

複数の接合領域からなり、該複数の接合領域の各々がそのすぐ隣の前記接合領域の各々のものと異なる光学濃度を有している、グレー・スケール・フィーチャを結像するための露光モニタ。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 514 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• マスクおよびパタン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-149835   出願人：日本電信電話株式会社