特許
J-GLOBAL ID：200903004140225003
テープ貼付・剥離装置及びテープ貼付システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 土屋 繁
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-013091
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123653
出願日： 2005年01月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 薄片化したウエハの裏面にダイシングテープを貼り付けるテープ貼付・剥離装置の実現。【解決手段】 表面に保護テープが貼り付けられているウエハ1の裏面にダイシングテープ52を貼り付けるテープ貼付・剥離装置であって、円形の穴を有する平板状フレーム2と共に、穴内に裏面を上側にして配置されたウエハ1を、保護テープ70が貼り付けられた状態で保持するステージ32と、ダイシングテープを、ウエハの裏面及び平板状フレームに貼り付けるダイシングテープ貼付機構33と、ウエハの裏面にダイシングテープを貼り付けた後、ウエハの表面に貼られた保護テープを剥離する保護テープ剥離機構35とを備える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
表面に保護テープが貼り付けられているウエハの裏面にダイシングテープを貼り付けるテープ貼付・剥離装置であって、
円形の穴を有する平板状フレームと共に、前記平板状フレームの円形の穴内の所定位置に裏面を上側にして配置された前記ウエハを、前記保護テープが貼り付けられた状態で保持するステージと、
前記ダイシングテープを、前記保護テープが貼り付けられた前記ウエハの裏面及び前記平板状フレームに貼り付けるダイシングテープ貼付機構と、
前記ウエハの裏面に前記ダイシングテープを貼り付けた後、前記ウエハの表面に貼られた保護テープを剥離する保護テープ剥離機構とを備えることを特徴とするテープ貼付・剥離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 N
, H01L21/78 M
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA22
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031MA39
