特許

J-GLOBAL ID：200903004149153269

複合酸化物を含むチャネルを有する半導体デバイス

発明者： ホフマン,ランディ ,  ハーマン,グレゴリー,エス ,  マーディロヴィッチ,ピーター
出願人/特許権者： ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-502847
公開番号（公開出願番号）：特表2007-529118
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

例示的な実施形態には半導体デバイスが含まれる。当該半導体デバイスは、亜鉛-ゲルマニウム、亜鉛-鉛、カドミウム-ゲルマニウム、カドミウム-スズ、カドミウム-鉛を含む金属酸化物のうちの1つ又は複数を含むチャネルを具備し得る。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ドレイン電極(112、212); ソース電極(110、210); 前記ドレイン電極(112、212)及び前記ソース電極(110、210)と接触しているチャネル(108、208)であって、亜鉛-ゲルマニウム、亜鉛-鉛、カドミウム-ゲルマニウム、カドミウム-スズ及びカドミウム-鉛を含む金属酸化物のうちの1つ又は複数を含む、チャネル(108、208); ゲート電極(104、204); 前記ゲート電極(104、204)と前記チャネル(108、208)との間に配置されたゲート誘電体(106、206)、 を含んで成る、半導体デバイス(100、200、400)。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  C01G 21/00 ,  C01G 17/00 ,  C01G 19/00 ,  C23C 14/08

FI (5件)：

H01L29/78 618B ,  C01G21/00 ,  C01G17/00 ,  C01G19/00 A ,  C23C14/08 K

Fターム (30件)：

4K029BA50 ,  4K029BB08 ,  4K029BB10 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  5F110AA01 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE30 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF32 ,  5F110GG04 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-172301   出願人：株式会社村田製作所
• 半導体装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-508258   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ