特許

J-GLOBAL ID：200903004222148236

静電チャックの電極構造

発明者： 辰己 良昭 ,  宮下 欣也
出願人/特許権者： 株式会社クリエイティブ テクノロジー
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-082946
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282687
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、静電チャックシートに給電するための電極構造を容易に組立てることができ、また、分解して金属基盤から電極構造を取り外すことができる静電チャックの電極構造を提供する。【解決手段】 金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、上記金属基盤の上下面間を貫通する貫通孔と、この貫通孔内に配設され、金属基盤の下面側から供給された電力を上面側に積層された静電チャックシートに供給する給電端子と、電気絶縁性材料で形成されて上記貫通孔の内壁と給電端子との間を絶縁すると共に上記給電端子を保持する絶縁保持部材とで構成された静電チャックの電極構造であり、上記絶縁保持部材を貫通孔の内壁に着脱可能に取り付けたことを特徴とする静電チャックの電極構造である。

請求項（抜粋）：

金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、上記金属基盤の上下面間を貫通する貫通孔と、この貫通孔内に配設され、金属基盤の下面側から供給された電力を上面側に積層された静電チャックシートに供給する給電端子と、電気絶縁性材料で形成されて上記貫通孔の内壁と給電端子との間を絶縁すると共に上記給電端子を保持する絶縁保持部材とで構成された静電チャックの電極構造であり、上記絶縁保持部材を貫通孔の内壁に着脱可能に取り付けたことを特徴とする静電チャックの電極構造。

Fターム (7件)：

5F031HA18 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031PA07 ,  5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 一方向導電カプラ層を有する静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-084213   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 静電チャックコネクタとそのコンビネ-ション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-354865   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド