特許
J-GLOBAL ID：200903004241186050
半導体力学量センサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-213159
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049357
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】可動構造体以外の部分が犠牲層エッチングで浸食されない構造を提供する。【解決手段】 第1と第2のシリコン基板100,200を絶縁膜300を介して貼合わせた貼合基板における基板100により、可動電極401を有する梁構造体400が構成され、基板100よりなり固定電極500と固定部600が構成されている。梁構造体400の下面からアンカー兼用の可動電極用配線が、固定電極500の下面からアンカー兼用の固定電極用配線800が延びている。固定部2Cの下にアンカーとして残される犠牲層であるシリコン酸化膜37の露出部がサイドエッチングを防止するためのストッパ(ポリシリコン薄膜)38で覆われ、これにより、犠牲層用シリコン酸化膜37のサイドエッチングを無くし、チップの欠損およびパーティクルの入り込みを防止する。
請求項（抜粋）：
第1と第2の半導体基板を絶縁膜を介して貼合わせた貼合基板における第1の半導体基板によりなり、第2の半導体基板の上において所定間隔を隔てた位置に配置され、可動電極を有する梁構造体と、同じく第1の半導体基板よりなり、第2の半導体基板の上面において前記梁構造体の可動電極に対向して配置された固定電極と、同じく第1の半導体基板よりなり、第2の半導体基板の上面において前記梁構造体および固定電極とは離間して配置された固定部と、前記梁構造体の下面から延びるアンカー兼用の可動電極用配線と、前記固定電極の下面から延びるアンカー兼用の固定電極用配線と、を備えた半導体力学量センサにおいて、前記固定部の下にアンカーとして残される犠牲層の露出部を、サイドエッチングを防止するストッパで覆ったことを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 Z
, G01P 15/125
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA26
, 4M112CA33
, 4M112CA36
, 4M112DA02
, 4M112DA18
, 4M112EA04
