特許

J-GLOBAL ID：200903004259069824

圧電共振子、圧電共振子の製造方法、圧電フィルタ、圧電フィルタの製造方法、デュプレクサおよび電子通信機器

発明者： 竹内 雅樹 ,  山田 一 ,  後藤 義彦 ,  野村 忠志
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-163026
公開番号（公開出願番号）：特開2003-087086
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】各振動部どうしが互いの共振特性に対する影響を軽減する一方で、全体の寸法の小型化を図ること。【解決手段】基板2と、前記基板2に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜14を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極11,12及び下部電極13を対向させて挟む構造の振動部4,5を複数、有する圧電共振子1において、前記振動部4,5が、その振動特性に影響する要素7〜10から少なくともλ/2(ただし、λは、振動波長)離されている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を対向させて挟む構造の振動部を複数、有する圧電共振子において、前記振動部が、その振動特性に影響する要素から少なくともλ/2(ただし、λは、振動波長)離されている、ことを特徴とする圧電共振子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/58 ,  H03H 9/70

FI (3件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/58 A ,  H03H 9/70

Fターム (7件)：

5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108FF04 ,  5J108KK02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電薄膜共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008646   出願人：三菱マテリアル株式会社
• バルク弾性共振器周辺反射システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-390378   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク