特許
J-GLOBAL ID：200903004311572904

処理装置の自動検査方法および自動復帰方法

発明者：
田中 尚人

田中 尚人 について

, 
小尾 章

小尾 章 について

, 
岩見 顕

岩見 顕 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206430
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025878
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】 処理装置の検査工程やメンテナンスからの復帰処理を自動化する。【解決手段】 被処理体のインライン検査装置を備えた処理装置の自動検査方法であり,少なくともインライン検査装置を用いる検査項目を含む検査項目とそれらの検査時間について予め登録される(S302)。登録された検査時間になると,処理装置の稼動状況が確認される(S306)。処理装置が稼動していない場合には直ちに,処理装置が稼動している場合には処理装置の稼動終了を待って,登録された検査項目の検査作業が自動的に実行される(S308)。異常が検出された場合には,異常内容を管理者に通知して,検査作業が中断される(S316)。メンテナンスからの復帰処理もほぼ同様の工程で自動化できる。
請求項（抜粋）：
被処理体の処理装置の自動検査方法であって,少なくとも検査項目とそれらの検査時間について予め登録する登録工程と,登録された検査時間になった場合に,前記処理装置の稼動状況を確認する確認工程と,前記確認工程において,前記処理装置が稼動していないと判断された場合には直ちに,前記処理装置が稼動していると判断された場合には前記処理装置の稼動終了を待って,登録された検査項目の検査作業を自動的に実行する検査工程と,検査作業の完了の判定を行う工程と,を含むことを特徴とする,処理装置の自動検査方法。
IPC (5件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 A ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/302 B
Fターム (30件)：
4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106CA01 ,  4M106CA19 ,  4M106CA20 ,  4M106CA21 ,  4M106CA36 ,  4M106CA41 ,  4M106CA50 ,  4M106CA51 ,  4M106CA52 ,  4M106DH01 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38 ,  5F004AA16 ,  5F004BB18 ,  5F004CA09 ,  5F004CB02 ,  5F004CB20 ,  5F045AA06 ,  5F045BB08 ,  5F045DP02 ,  5F045GB11 ,  5F045GB16 ,  5F103AA08 ,  5F103BB33 ,  5F103BB36 ,  5F103BB51 ,  5F103HH03 ,  5F103RR01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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