特許
J-GLOBAL ID：200903004340816618
回路基板検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062046
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230005
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 検査の確実性を維持しつつ検査時間を短縮することができる回路基板検査装置を提供することを主目的とする。【解決手段】 測定点に接触可能な固定用プローブ5と、回路パターンPに接触可能な移動用プローブ4と、移動用プローブ4を回路基板2に接触させた状態で移動させるプローブ移動制御手段42と、固定用プローブ5と移動用プローブ4との間における電気的特性データを測定する測定手段41とを備え、測定された電気的特性データに基づいて回路基板Pを検査する回路基板検査装置1であって、移動用プローブ4の移動経路上の各移動位置および移動経過時間のいずれかにおける電気的特性データにそれぞれ対応する基準データを記憶する記憶手段57と、測定された各電気的特性データとそれに対応する基準データとを比較することにより回路基板を検査する検査手段55とを備えている。
請求項（抜粋）：
所定の測定点に接触して導通可能な固定用プローブと、回路基板上の回路パターンに接触して導通可能な移動用プローブと、当該移動用プローブを前記回路基板に接触させた状態で予め設定した移動経路で移動させるプローブ移動制御手段と、前記固定用プローブと移動時の前記移動用プローブとの間における電気的特性データを連続的に測定する測定手段とを備え、当該測定された電気的特性データに基づいて前記回路基板を検査する回路基板検査装置であって、前記移動用プローブの前記移動経路上の各移動位置および移動経過時間のいずれかにおける前記電気的特性データにそれぞれ対応する基準データを記憶する記憶手段と、前記測定された各電気的特性データとそれに対応する前記基準データとを比較することにより前記回路基板を検査する検査手段とを備えていることを特徴とする回路基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 D
, G01R 31/02
