窒化珪素質耐食性部材及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079780
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278944
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】耐熱性に優れた窒化珪素質焼結体からなり、パーティクルの発生を抑制し得る窒化珪素質耐食性部材とその製造方法を提供する。【解決手段】陽イオン不純物が0.5重量%以下の窒化珪素原料粉末に対して、少なくとも0.5重量%以上の希土類元素酸化物を添加混合した混合物を所定形状に成形、焼成して作製された相対密度98%以上の窒化珪素質焼結体の少なくとも塩素系腐食ガス或いはそのプラズマに晒される面を塩素および/または水素を含むガス雰囲気で、800〜1900°Cで熱処理して粒界相を除去し、接触表面から10μm以上の深さにわたり、少なくとも焼結助剤及び不純物を含む粒界相が、表面から1mmの深さ位置における粒界相に対して面積比率で3分の1以下に除去した粒界相除去層を形成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも塩素系ガス或いはそのプラズマと直接接触する表面を窒化珪素を主成分とする相対密度98%以上の窒化珪素質焼結体により構成するとともに、前記接触表面から10μm以上の深さにわたり、焼結助剤及び不純物を含む粒界相を除去した粒界相除去層を形成したことを特徴とする窒化珪素質耐食性部材。

IPC (3件)：

C04B 35/584 , C04B 41/80 , C04B 41/91

FI (4件)：

C04B 35/58 102 C , C04B 41/80 Z , C04B 41/91 Z , C04B 35/58 102 X

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-271966
特開昭62-153168
窒化珪素品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-072894 出願人：日本碍子株式会社

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