特許

J-GLOBAL ID：200903004391791342

電気光学装置の検査装置及び検査方法

発明者： 齋藤 雅夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-279250
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093673
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】設置スペースが少なくて済み、光源とスクリーン間から反射ミラーを省け、しかも表示欠陥(点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等)を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することである。【解決手段】電気光学パネル100に表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置1であって、水平に置かれた電気光学パネル100に検査光を透過または反射させて鉛直方向に投影面17に投射する検査光路を構成する検査光学系5と、電気光学パネル100を所定の検査パターンで駆動した際の投影面17上の輝度分布を撮像する撮影カメラ6と、撮影カメラ6のレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー61、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部62と、を備えたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、 水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、 前記電気光学パネルを所定の検査パターンで駆動した際の前記投影面上の輝度分布を撮像する撮影カメラと、 前記撮影カメラのレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、 を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 ,  G09F 9/00 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

G02F1/13 101 ,  G09F9/00 352 ,  G02F1/13 505 ,  G01N21/88 Z

Fターム (26件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC20 ,  2G051DA17 ,  2H088EA12 ,  2H088EA13 ,  2H088EA14 ,  2H088EA16 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA10 ,  2H088HA12 ,  2H088HA21 ,  2H088HA24 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20 ,  5G435AA11 ,  5G435AA19 ,  5G435BB17 ,  5G435GG01 ,  5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-346920   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 液晶パネルの検査装置及びその検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-261818   出願人：セイコーエプソン株式会社