特許
J-GLOBAL ID：200903053828517343
液晶パネルの検査装置及びその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-261818
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101748
出願日： 2002年09月06日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】検査に悪影響を及ぼすことなく投影した検査画像の視認性を向上することのできる液晶パネルの検査装置を提供する。【解決手段】液晶パネルモジュール100に表示した検査画像を投影するための検査光学系5の構成部材である投影レンズ18を、検査画像の投影時に検査光に対して相対移動させるレンズ移動機構部6を設ける。投影レンズ18を検査光に対して相対移動させることにより、光軸を変動させる。この光軸の移動によって、投影された検査画像が移動され、検査画像の移動による残像効果によって点欠陥等の視認性が向上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液晶パネルに表示した検査画像を投影するための検査光路を構成する検査光学系と、
上記液晶パネルの検査光路上に配設された上記検査光学系の光学部材を移動させて検査画像の投影状態を変化させる光学部材移動手段とを備えたことを特徴とする液晶パネルの検査装置。
IPC (3件)：
G02F1/13
, G01M11/00
, G01N21/84
G02F1/13 101
, G01M11/00 T
, G01N21/84 D
2G051AA90
, 2G051CA11
, 2G051CB02
, 2G051CC09
, 2G051CC20
, 2G086EE10
, 2H088FA13
, 2H088FA30
, 2H088HA08
, 2H088HA24
, 2H088HA28
, 2H088MA20
