周波数整合器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-216768
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049000
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】プラズマ処理装置などの高周波共振装置の負荷インピーダンスの変動に追従して高周波電源の発振周波数を整合させることにより、高い転送効率で電源から電力を供給させ得る周波数整合器を提供する。【解決手段】本発明の周波数整合器は、高周波共振装置(1)に電力供給する高周波電源(2)の発振周波数を高周波共振装置(1)の負荷インピーダンスに整合させる。周波数整合器(3)は、反射波パワーメータ(6)によって検出される反射波電力が最小となる様に高周波電源(2)の発振周波数を調整する。また、位相検出器(7)によって検出される電圧と電流の位相差が0°となる様に高周波電源(2)の発振周波数を調整する。

請求項（抜粋）：

高周波共振装置に電力供給する高周波電源の発振周波数を前記高周波共振装置の負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器であって、当該周波数整合器は、前記高周波電源の出力側に設置された反射波パワーメータによって検出される反射波電力が最小となる様に、前記高周波電源の発振周波数を調整する機能を備えていることを特徴とする周波数整合器。

IPC (6件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , H01L 21/3065 , H01L 21/31 , H03B 1/00 , H03B 28/00

FI (7件)：

H05H 1/46 R , H05H 1/46 L , C23C 16/50 , H01L 21/31 C , H03B 1/00 Z , H03B 28/00 Z , H01L 21/302 B

Fターム (20件)：

4K030FA01 , 4K030FA03 , 4K030FA04 , 4K030JA05 , 4K030JA18 , 4K030JA19 , 4K030KA30 , 4K030KA39 , 4K030KA41 , 5F004BA04 , 5F004BB11 , 5F004BB13 , 5F004BD01 , 5F004CA03 , 5F045AA08 , 5F045BB20 , 5F045EH13 , 5F045EH19 , 5F045GB06 , 5F045GB15

引用特許：

審査官引用 (4件)

誘導結合プラズマ反応器のRF電力ソースの自動周波数同調装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-028142 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-351189 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭61-016314

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