プラズマ生成用の螺旋共振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-343850
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162697
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】プラズマ発生時の共振器における共振点のずれに対応でき、電気的ポテンシャルの一層低いプラズマを生成できる螺旋共振装置を提供する。【解決手段】プラズマ生成用の螺旋共振装置は、減圧可能に構成され且つプラズマ用ガスが供給される容器(11)と、当該容器の外周に巻回された共振コイル(12)と、当該共振コイルの外周に配置された外側シールド(13)とから成る共振器(1)、および、当該共振器に所定周波数の高周波電力を供給する高周波電源(4)を備え、かつ、共振コイル(12)の電気的長さが前記所定周波数における1波長の整数倍に設定される。そして、高周波電源(4)には、プラズマが発生した際の共振器(1)からの反射波電力を検出し、反射波電力が最小となる様に前記所定周波数を増減させる電源制御手段(5)が付設される。

請求項（抜粋）：

減圧可能に構成され且つプラズマ用ガスが供給される容器と、当該容器の外周に巻回された共振コイルと、当該共振コイルの外周に配置された外側シールドとから成る共振器、および、当該共振器に所定周波数の高周波電力を供給する高周波電源を備え、かつ、前記共振コイルの電気的長さが前記所定周波数における1波長の整数倍に設定されたプラズマ生成用の螺旋共振装置において、前記高周波電源には、プラズマが発生した際の前記共振器からの反射波電力を検出し、反射波電力が最小となる様に前記所定周波数を増減させる電源制御手段が付設されていることを特徴とする螺旋共振装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (6件)：

H05H 1/46 L , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/31 C , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

誘導結合プラズマ反応器のRF電力ソースの自動周波数同調装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-028142 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
整合器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-093163 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭61-016314

全件表示

前のページに戻る