特許

J-GLOBAL ID：200903004406711693

基板検査装置

発明者： 柴田 浩匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-218676
公開番号（公開出願番号）：特開2009-052966
出願日： 2007年08月24日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】ウェハを基板検査装置に取り付ける際の偏心等に影響されることなく、ウェハの外周端部が検査できる基板検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る基板検査装置1は、ウェハ2を保持するウェハ支持部10と、ウェハ2の端部を観察するラインセンサカメラ21、2次元カメラ22、23、24と、ウェハ支持部10とラインセンサカメラ21、2次元カメラ22、23、24とを相対移動させる移動部と、相対移動中にラインセンサカメラ21、2次元カメラ22、23、24がウェハ2の端部を観察できるように移動部を制御する制御部とを備えて構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被検基板を保持する保持部と、 前記被検基板の端部を観察する観察部と、 前記保持部と前記観察部とを相対移動させる移動部と、 前記相対移動中に前記観察部が前記端部を観察できるように前記移動部を制御する制御部とを備えていることを特徴とする基板検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/245 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  G01B11/245 H ,  H01L21/66 J

Fターム (33件)：

2F065AA12 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065HH00 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB08 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051FA02 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 端部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-123885   出願人：株式会社ルネサステクノロジ, 株式会社ルネサスデバイスデザイン