特許
J-GLOBAL ID：200903004443604821
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143708
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340446
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズを備えた固体撮像装置において、シェーディングの発生を抑える。【解決手段】 本発明の固体撮像装置は、半導体基板50上の受光面52に複数の光電変換素子54が配設され、光電変換素子54上にそれぞれマイクロレンズ10が設けられたものである。そして、各マイクロレンズ10の球面は、受光面52の中心側の曲率よりも周辺側の曲率の方が大きくなっている。そのため、受光面52の中心から周辺に行くにつれて徐々に斜めになる入射光を、各マイクロレンズ10が各光電変換素子54の中心方向へそれぞれ大きく屈折させることができる。したがって、受光面52の周辺側に位置する光電変換素子54における受光量の低下を改善できるので、シェーディングの発生を抑制できる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上の受光面に複数の光電変換素子が配設され、これらの光電変換素子上にそれぞれマイクロレンズが設けられた、固体撮像装置において、前記各マイクロレンズの球面は、前記受光面の中心側の曲率よりも周辺側の曲率の方が大きく、この周辺側の曲率は、前記受光面の中心から遠いマイクロレンズほど大きい、ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H04N 1/028
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, H04N 1/028 Z
, H04N 5/335 V
