オンチップマイクロレンズ及びその作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312675
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140611
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】異なる方向における曲率半径が最適化されたオンチップマイクロレンズ及びその作製方法を提供する。【構成】オンチップマイクロレンズは、垂直方向に組み合わされた2つ以上のレンズ部32,42を有する。その作製方法は、(イ)下地材料層上に第1の熱変形樹脂層を形成した後、第1の熱変形樹脂層をパターニングし、次いで加熱処理を施して、第1の熱変形樹脂層から所定のレンズ形状を有する下側レンズ部32を形成し、(ロ)下側レンズ部32の上に第2の熱変形樹脂層を形成した後、第2の熱変形樹脂層をパターニングして下側レンズ部の所定領域上に第2の熱変形樹脂層を残し、次いで加熱処理を施して、かかる第2の熱変形樹脂層から所定のレンズ形状を有する上側レンズ部42を形成する工程から成る。

請求項（抜粋）：