特許
J-GLOBAL ID：200903004470069750
光源装置、半導体露光装置、レーザー治療装置、レーザー干渉計装置およびレーザー顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 隆男
, 大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-089635
公開番号（公開出願番号）：特開2005-275095
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】従来の波長変換素子に代えて、強誘電体である新規な波長変換素子を用い、200nm以下、特にArFエキシマレーザーまたはF2レーザーに代わる波長193nmまたは157nmのコヒーレント光を出力する光源装置を提供する。 【解決手段】少なくとも一つのレーザー光源と、少なくとも一つの波長変換素子とを備え、前記レーザー光源が発生した光の波長を前記波長変換素子により変換してコヒーレント光を出力する光源装置において、前記波長変換素子のうち少なくとも一つを、周期的分極反転構造が形成されたフッ化ストロンチウムアルミニウム(SrAlF5)単結晶からなる波長変換素子とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも一つのレーザー光源と、少なくとも一つの波長変換素子とを備え、前記レーザー光源が発生した光の波長を前記波長変換素子により変換して出力する光源装置であって、前記波長変換素子のうち少なくとも一つが、周期的分極反転構造が形成されたフッ化ストロンチウムアルミニウム(SrAlF5)単結晶からなる波長変換素子である、コヒーレント光を出力する光源装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA22
, 2K002DA01
, 2K002EA30
, 2K002FA27
, 2K002HA19
, 2K002HA20
