特許

J-GLOBAL ID：200903023858202804

コヒーレント光光源、半導体露光装置、レーザ治療装置、レーザ干渉計装置、レーザ顕微鏡装置

発明者： 原田 昌樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-194176
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122898
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 高効率で装置構成が簡単な紫外光のコヒーレント光光源を提供する。【解決手段】 半導体レーザ100から出射された波長1554nmの光は、エルビウムドープファイバー106によって増幅されレンズ109によって非線形光学結晶LBO110に入射され、第二光高調波である波長772nmの光111が発生する。波長772nmの光111は、レンズ112により非線形光学結晶LBO113に集光され、第二光高調波発生により波長386nmの光に変換される。波長386nmの光114は、レンズ115により水晶の擬似位相整合結晶116に集光され、第二光高調波発生により波長193nmの光117に変換される。その場合1次の擬似位相整合を行うとすると、分極反転の周期は、約0.95μmである。この場合も、Walk-Off効果がなく、高効率でビーム品質の良い第二光高調波発生が可能である。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、周期的な双晶構造を持つ水晶よりなる擬似位相整合器とを有してなり、前記擬似位相整合器により、前記レーザ光源より放出されるレーザ光の第二光高調波を発生させ、この第二光高調波であって波長が約157nm又は約193nmの光を主成分とする光を出力とすることを特徴とするコヒーレント光光源。

IPC (8件)：

G02F 1/37 ,  A61B 18/20 ,  G01B 9/02 ,  G02B 19/00 ,  G02B 21/06 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/109

FI (8件)：

G02F 1/37 ,  G01B 9/02 ,  G02B 19/00 ,  G02B 21/06 ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/109 ,  H01L 21/30 515 B ,  A61B 17/36 350

Fターム (55件)：

2F064AA00 ,  2F064CC05 ,  2F064CC10 ,  2F064FF02 ,  2F064FF05 ,  2F064GG02 ,  2F064KK04 ,  2H052AA08 ,  2H052AC12 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AC33 ,  2H052AC34 ,  2H052BA01 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2K002AA04 ,  2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002EA07 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  4C026AA01 ,  4C026BB06 ,  4C026BB07 ,  4C026FF02 ,  4C026HH14 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB03 ,  5F046CB04 ,  5F046CB22 ,  5F072AB02 ,  5F072AB05 ,  5F072AB09 ,  5F072AB13 ,  5F072AB20 ,  5F072AK06 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM07 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072YY01 ,  5F072YY09 ,  5F072YY13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 波長変換素子及びその製造方法並びにこれを用いた固体レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-010891   出願人：三菱マテリアル株式会社