特許

J-GLOBAL ID：200903004488409540

電子ビーム蒸発装置

発明者： 東 郷 永 耀 ,  山 下 健 一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-207927
公開番号（公開出願番号）：特開2007-023342
出願日： 2005年07月19日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】 電子ビーム照射位置の照射位置を安定化する。【解決手段】 偏向用ヨーク1A,1B間に電子銃4と蒸発物質5を収容した坩堝6を設け、電子銃4から発せられた電子ビームが偏向用ヨーク1A,1Bが形成する磁場により偏向されて坩堝6内の蒸発物質5に照射される様に成す。偏向用ヨーク1A,1B間の磁場は、永久磁石20と電磁石22からの磁束に基づいて形成される。永久磁石20は円柱状に形成されており、その両底面がそれぞれ非磁性の断熱部材21A,21Bを介して各ヨーク1A,1Bの内壁面にそれぞれ接触している。電磁石22は、両端部がそれぞれ各ヨーク1A,1Bに支持された円柱状の鉄心FoにコイルCoを巻いて成されており、永久磁石20に対し、空間を隔てて、並列に配置されている。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

少なくとも1対の偏向用ヨーク間に電子銃と蒸発物質を収容した坩堝を設け、前記電子銃から発せられた電子ビームが前記偏向用ヨークが形成する磁場により偏向されて前記坩堝内の蒸発物質に照射される様に成しており、永久磁石と電磁石からの磁束に基づいて前記偏向用ヨークが磁場を形成する様に成した電子ビーム蒸発装置において、前記永久磁石は柱状に形成されており、その両底面がそれぞれ非磁性の断熱部材を介して前記各ヨークの内壁面にそれぞれ接触している電子ビーム蒸発装置。

IPC (1件)：

C23C 14/30

FI (1件)：

C23C14/30 B

Fターム (3件)：

4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029DB21

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電子ビーム蒸発装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-129482   出願人：日本電子株式会社
• 電子ビーム蒸発方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-168402   出願人：日本電子株式会社