特許

J-GLOBAL ID：200903004494053269

研磨用スラリーの供給方法

発明者： 石渡 昭一 ,  斉藤 秀逸 ,  富岡 重則
出願人/特許権者： 超音波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245036
公開番号（公開出願番号）：特開平9-057627
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【目的】 研磨用スラリーの濃度と量を任意に設定された値で自動的に且つ砥粒の目詰まりなく安定に供給できる方法を実現すること。【構成】 密閉タンク1、研磨用スラリー2、スラリー供給管3、ノズル4、バッファタンク10で構成される研磨用スラリーの攪拌および供給機構を負圧用バルブ5、正圧用バルブ6、負圧発生器7、負圧流量調整弁8、正圧流量調整弁9で構成される空気圧制御機構で制御し自動的に且つ砥粒の目詰まりなく安定に研磨用スラリーを供給することを特徴とする研磨用スラリーの供給方法。

請求項（抜粋）：

研磨用スラリーを入れた密閉タンク内の空気圧を負に保つことにより、上記密閉タンクの底部に設けた研磨用スラリー供給管の開口端から空気を逆流させて、上記管内の残存スラリーを上記タンク内に戻すとともに、上記スラリー中の砥粒濃度を一様化し、ついで研磨工程のタイミングに合わせて上記密閉タンク内の空気を大気圧を越える正値に反転させることにより、所定量の研磨用スラリーを上記供給管に送り出す研磨用スラリーの供給方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 砥粒液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108824   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社