特許

J-GLOBAL ID：200903004508201126

真空室用搬送装置

発明者： 浅川 輝雄 ,  佐伯 弘明 ,  佐々木 義明 ,  松島 圭一 ,  石井 勝美
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310057
公開番号（公開出願番号）：特開平9-131680
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】 真空室内で使用する搬送装置において、搬送装置内部の軸受け部やベルトなどから発生するパーティクル、有機系ガスが真空室内に流出しないようにし、例えば被搬送物である半導体ウエハの汚染を防止すること。【解決手段】 第1アーム1及び第2アーム2を、内部を気密なカバー体41、46で覆う構造とし、関節部分においてカバー体41(46)と回転軸との間に磁気シール部43、46、47を介在させ、回転軸が回転可能でありながらカバー体41(46)内雰囲気と真空室内雰囲気とを隔離する。カバー体内は第1アーム1の基端部の回転軸内及び逆止弁71、72を介して、排気管81及び給気管83の近傍に連通しており、逆止弁71、72の作動圧力を磁気シール部の許容圧力よりも小さくしておくことにより磁気シール部の破損を防止できる。

請求項（抜粋）：

複数のア-ムを回転軸及び軸受け部により回転自在に連結して関節ア-ムを構成し、基端側のア-ムと駆動源との間に設けられた回転軸を回転させ、その回転を、ア-ムに設けられた伝達機構を介して先端側のア-ムに伝達することにより真空室内で搬送動作する搬送装置において、ア-ム毎に設けられ、関節部の軸受け部および前記伝達機構を覆うカバ-体と、前記カバ-体と関節部の回転軸との間に設けられ、前記軸受け部および伝達機構が位置する雰囲気と真空室内雰囲気との間を回転軸が回転できるように気密にシ-ルするシ-ル手段と、を備えたことを特徴とする真空室用搬送装置。

IPC (7件)：

B25J 9/06 ,  B25J 19/00 ,  B25J 21/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (7件)：

B25J 9/06 D ,  B25J 19/00 H ,  B25J 21/00 ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 真空チャンバ用搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-006596   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-365582
  
• 特開平4-365582