特許

J-GLOBAL ID：200903004537351420

レーザ加工装置

発明者： 舘岡 進
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-245675
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 レーザ光の焦点位置を補正し、観察光によってレーザ光の焦点位置を調整できるようにする。【構成】 顕微鏡部1にレーザ装置部3を搭載し、この顕微鏡部1とレーザ装置部3との間に、顕微鏡部1の光軸及びレーザ光の光軸と同軸上にレーザ光焦点位置補正装置50を備え、この焦点位置補正装置50によってレーザ光の焦点位置を顕微鏡部1の焦点位置に合致させる。これにより、顕微鏡部1で加工面に焦点を合わせ、レーザ光で正確にレーザ加工を行う。また、レーザ光焦点位置補正装置50としては、所定間隔をおいて配設した凹レンズ51及び凸レンズ52と、これら凹レンズ51及び凸レンズ52間の間隔を連続的に変化させるレンズ間隔調整機構53とから構成する。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出射されたレーザ光の光軸と顕微鏡の観察光の光軸を一致させ、顕微鏡の対物レンズを介して対象物にレーザ光を照射することにより対象物を加工するレーザ加工装置において、前記レーザ光の光軸上に、レーザ光の焦点位置と観察光の焦点位置とを一致させるレーザ光焦点位置補正装置を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (6件)：

B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/04 ,  H01L 27/01 321 ,  B23K101:38 ,  B23K101:40

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザーマスクリペア装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-003206   出願人：株式会社トプコン
• 特開平4-190986
  
• 特開平4-251686