特許
J-GLOBAL ID:200903004544240324

ガラス基板の切断面検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大島 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-433290
公開番号(公開出願番号):特開2005-162588
出願日: 2003年12月26日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】 ガラス基板の切断面を複数の方向から立体的に検査して、ガラス基板の品質検査に利用される切断面情報を迅速且つ正確に光学的に検出可能とする。【解決手段】 ガラス基板を固定する固定プレート110と、基板の切断面の上側、下側、平面プロフィール映像をそれぞれ得るための第1、第2、及び第3撮影手段120、130、140と、第1〜第3撮影手段が固定され、それらを移動させるフレーム151を備えたメインロボット150を備えた切断面検査装置を提供する。この装置により光学的に取得された切断面情報をフィードバックして、ガラス基板の生産性及び品質を向上させることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ガラス基板の切断面を検査する装置であって、 前記ガラス基板の切断面が一方の側に突出するように前記ガラス基板を固定する固定プレートと、 前記ガラス基板の上面の上方に位置し、前記切断面の上側に向かって前記上面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第1カメラを有する第1撮影手段と、 前記ガラス基板の下面の下方に位置し、前記切断面の下側に向かって前記下面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第2カメラを有する第2撮影手段と、 前記ガラス基板の切断面に対向するように位置し、前記切断面に垂直にガラス基板を撮影して映像を得る第3カメラを有する第3撮影手段と、 前記ガラス基板の切断面に隣接して設置され、前記第1乃至第3撮影手段がそれぞれ結合されるフレームと、 前記フレームに装着された前記第1乃至第3撮影手段を、前記切断面の長手方向に沿って移動させ、切断面を撮影できるように前記フレームを移動させるフレーム移動手段とを含むガラス基板の切断面検査装置。
IPC (2件):
C03B33/02 ,  G01N21/958
FI (2件):
C03B33/02 ,  G01N21/958
Fターム (11件):
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051AC19 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051DA17 ,  4G015FA00 ,  4G015FB01 ,  4G015FC14
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 板ガラスの欠点検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-011169   出願人:セントラル硝子株式会社, 大洋エレックス株式会社
  • 特開平4-168351
  • 特開平4-168351

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