特許
J-GLOBAL ID:200903004544880056
極低温冷却装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
後藤 洋介 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-113567
公開番号(公開出願番号):特開2002-310521
出願日: 2001年04月12日
公開日(公表日): 2002年10月23日
要約:
【要約】【課題】 真空容器内での輻射熱による影響を受けること無く所望の極低温状態を維持することのできる極低温冷却装置を提供する。【解決手段】 第1段、第2段の冷凍ステージ11、12から成る冷凍ステージ10を真空容器20内に配置し、この真空容器内であって第1段の冷凍ステージにおけるヘッド部分には、第2段の冷凍ステージを包囲して熱的にシールドするための筒状の第1の熱シールド板31を設ける。真空容器内には更に、第1段の冷凍ステージの底部フランジ11-3に設けられたサポート部材33を介して少なくとも第2段の冷凍ステージを包囲するように筒状の第2の熱シールド板32を設けた。
請求項(抜粋):
極低温側を最終段とする複数段の冷凍ステージを真空容器内に配置し、該真空容器内であって少なくとも最終段の一段手前の冷凍ステージにおけるヘッド部分には、最終段の冷凍ステージを包囲して熱的にシールドするための筒状の第1の熱シールド板を設けて成る極低温冷却装置において、前記真空容器内には更に、第1段の冷凍ステージの底部フランジに設けられたサポート部材を介して少なくとも最終段の冷凍ステージを包囲するように筒状の第2の熱シールド板を設けたことを特徴とする極低温冷却装置。
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