特許
J-GLOBAL ID：200903004551088341
共焦点走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-115239
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307681
出願日： 2002年04月17日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：
【要約】【課題】 測定が必要な範囲の高さ情報を、容易かつ高速に取得することが可能な共焦点走査型光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】 光源からの光を試料(8)に対して集光させる対物レンズ(7)と、前記集束光を前記試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構(3)と、前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる移動機構と、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口部(10)と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器(11)と、前記光検出器の出力に基づいて前記試料の高さ情報を求める機能と、一視野内における2点以上の任意範囲を指定する機能と、前記指定範囲に対して合焦を行う機能と、前記自動合焦で得られた位置情報に基づいて高さ測定の範囲を決定する機能と、を有する制御手段(12)と、を具備する。
請求項（抜粋）：
光源からの光を試料に対して集光させる対物レンズと、前記集束光を前記試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる移動機構と、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口部と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器と、前記光検出器の出力に基づいて前記試料の高さ情報を求める高さ情報取得機能と、一視野内における2点以上の任意範囲を指定する範囲指定機能と、指定されたそれぞれの範囲に対して合焦を行う自動合焦機能と、前記自動合焦機能より得られた位置情報に基づいて高さ測定の範囲を決定する高さ測定範囲決定機能と、を有する制御手段と、を具備することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
Fターム (9件)：
2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AD09
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
