離散事象制御システムと離散事象制御システムを用いた生産工程シミュレーション方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091088
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288277
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】装置の機能毎のオブジェクトによりモデルを形成し、プログラムの構築や修正の際に、機能のみの修正により容易に編集が可能な離散事象モデルによるシミュレーションシステム。【解決手段】シミュレーションに関するデータを入力する入力部11と、前記データに基づきシミュレーションモデルを構築するモデル部12と、前記シミュレーションモデルと前記データとに基づきシミュレーションを行うシミュレーション部13とを具備し、モデル部11は生産ライン上の複数の装置の機能を示す個別オブジェクトと前記複数の装置に共通の処理を示す共通オブジェクトとを形成し、前記複数の装置の内、少なくとも2つが協調して前記共通オブジェクト又は前記個別オブジェクトを実行する事とし、シミュレーション部13は、前記個別オブジェクトと前記共通オブジェクトとを用い、生産工程をシミュレーションする離散事象制御システムを用いる。

請求項（抜粋）：

生産ライン上に配置された複数の装置の各々に固有の機能を示す個別オブジェクトを形成するステップと、前記複数の装置に共通の処理を示す少なくとも一つの共通オブジェクトを形成するステップと、前記個別オブジェクトと前記共通オブジェクトとを用いて、生産工程をシミュレーションするステップと、を具備する、生産工程シミュレーション方法。

IPC (2件)：

G06F 17/60 108 , G05B 19/418

FI (2件)：

G06F 17/60 108 , G05B 19/418 Z

Fターム (10件)：

3C100AA06 , 3C100BB01 , 3C100BB13 , 3C100BB14 , 3C100BB31 , 3C100BB33 , 3C100CC02 , 3C100CC08 , 3C100CC11 , 3C100EE08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-064164
半導体装置生産における品質管理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003313 出願人：株式会社東芝
複数装置より構成されるインライン工程システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-083403 出願人：株式会社ニコン

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