特許
J-GLOBAL ID:200903004616214668
半導体レーザ装置およびそれを用いた固体レーザ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 亀松 宏
, 西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-194913
公開番号(公開出願番号):特開2004-096092
出願日: 2003年07月10日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】焦点におけるエネルギー密度を高くした半導体レーザ装置およびそれを用いた半導体レーザ励起固体レーザ装置もしくは半導体レーザ励起ファイバレーザ装置を提供する。【解決手段】点線状に直列したレーザビーム列をさらに並列した2次元アレイ状のレーザビーム群を放射するスタックアレイレーザ素子の前面に配設され、その点線の向きに対してほぼ垂直な方向に屈折してコリメートされた各レーザビーム列を受光し、各エミッタまたは各エミッタ群からのレーザビームの向きを直角に旋回して放射することにより、実質的な梯子状に並列した複数列のレーザビーム列に変換し、このレーザビーム列の中心軸間隔を近づけて共通の物点から放射されたビーム群に変換してから集光することにより、全てのレーザビームを単一の像に収斂することを特徴とする半導体レーザ装置。【選択図】 図7
請求項(抜粋):
レーザビームを放射する第1の方向に長い複数のエミッタが、該第1の方向に直線的に並ぶように、しかも複数列配列して設けられ、レーザビーム要素が2次元アレイ状に配列したレーザビーム群を放射するスタックアレイレーザダイオードと、
前記スタックアレイレーザダイオードの前面に配設され、前記レーザビーム群を各列毎に前記第1の方向に対してほぼ直角な第2の方向に屈折させてコリメートする第1の集光器(20)と、
前記第1の集光器(20)の前面に配設され、前記第2の方向にコリメートされたレーザビーム群を受光して、各列毎に前記第1の方向に延びる実質的な梯子状レーザビーム群に変換して放射する第1のビーム変換器(30)と、
前記第1のビーム変換器(30)の前面に配設され、前記第1のビーム変換器(30)から出力されたレーザビーム群を各列毎に前記第1の方向に対してほぼ直角な第2の方向に屈折させてコリメートするとともに各々所定の量だけ中心軸をずらして用いることにより近似的に同一物点から放射されたビームに変換するように光軸の角度変化を発生する第2の集光器(80)と、
前記第2の集光器(80)から出力されたレーザビーム群を受光し、梯子の間隔が短縮された複数列の前記第1の方向に延びる圧縮された実質的な梯子状レーザビーム群に変換して放射する第1のビーム圧縮器(40)と、
前記第1のビーム圧縮器(40)から出力されたレーザビーム群を集光させる第3の集光器(70)と、
を備えることを特徴とする半導体レーザ装置。
IPC (4件):
H01S5/40
, H01S3/06
, H01S3/094
, H01S5/22
FI (4件):
H01S5/40
, H01S3/06 B
, H01S5/22 610
, H01S3/094 S
Fターム (11件):
5F072AB01
, 5F072AB07
, 5F072AK06
, 5F072KK30
, 5F072PP07
, 5F073AB04
, 5F073AB25
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA09
, 5F073EA24
引用特許:
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