加速度補償された圧力トランスデューサおよびその調節方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260338
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160182
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】付加的圧電要素を使用しないことによって、圧力トランスデューサを技術的に簡単化するとともに接続方法による影響を排除すること。【解決手段】外側ハウジング部分31は内側部分45を囲み、内側部分45は載置された補償質量33、測定結晶アレー35およびダイヤフラムを介してフランジ42に結合されたダイヤフラム付き底部質量36よりなっている。個々のスラットによっても置換し得る内壁スリーブ40は、フランジ42と同様に補償質量33にも結合している。内側部分45は、加速度感度の粗または精密補償の後ハウジング外側部分31内に挿入され、溶接部41によりフランジ42を介して外側部分31に結合されハウジングの壁31のどこにも接触しないため、自由に振動することができる。

請求項（抜粋）：

二つの質量(33,36)の間に予備負荷して取付けられた圧力測定要素(35,62)を有する、たとえばガス状または液状媒体における動的プロセスを測定するための、加速度補償された圧力トランスデューサにおいて、質量(33,36)および測定要素(35,62)がフランジ(41)を介する取付端においてのみハウジング状外側部分(31,51)に結合され、質量[36(m1 ),33(m2 )]がフランジ(42)において適合したこわさ(c1 ,c2 )を備えた接続要素(40,37;77)を介して無関係の機械的影響からしゃ断して内側部分(45)にさらに結合され、最後に予め組合わされた内側部分(45)において質量(m1 ,m2 )および/またはこわさ(c1 ,c2 )が加速度または振動の影響がせいぜい最小の見せ掛けの信号しか生じないように材料を除去または付加することによって適合せしめられることを特徴とする加速度補償された圧力トランスデューサ。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公平4-030537
特公平4-030538
圧電型圧力センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-194609 出願人：松下電器産業株式会社

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