振幅変調および位相変調を行うための整調可能な薄膜バルク型音響共振器が組み込まれている装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269024
公開番号（公開出願番号）：特開平10-126160
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】所望の信号を振幅変調または位相変調するための整調可能なBAW共振器を組み込んだ装置を提供する。【解決手段】基板と、共振手段と、前記共振手段の第1の面に隣接する第1電極と、前記共振手段の第2の面に隣接する第2電極と、前記第2電極および前記基板間に位置する膜と、1対のエッチング窓と、前記基板の少なくとも一部分を前記膜の少なくとも一部分から隔てるエアギャップとからなり、前記エアギャップが、前記エッチング窓を通して前記基板の一部分を除去することにより形成され、前記共振手段が、前記の第1および第2の電極間に印加された電圧によって当該電極間に生じた電界に応答して共振し、前記エアギャップが、前記共振手段により生成された振動を前記基板から絶縁するバルク型音波共振器から絶縁する。

請求項（抜粋）：

基板と、共振手段と、前記共振手段の第1の面に隣接する第1電極と、前記共振手段の第2の面に隣接する第2電極と、前記第2電極および前記基板間に位置する膜と、1対のエッチング窓と、前記基板の少なくとも一部分を前記膜の少なくとも一部分から隔てるエアギャップとからなり、前記エアギャップが、前記エッチング窓を通して前記基板の一部分を除去することにより形成され、前記共振手段が、前記の第1および第2の電極間に印加された電圧によって当該電極間に生じた電界に応答して共振し、前記エアギャップが、前記共振手段により生成された振動を前記基板から絶縁するバルク型音波共振器。

IPC (4件)：

H03C 3/10 , H03C 1/08 , H03H 9/17 , H04R 17/00 330

FI (4件)：

H03C 3/10 , H03C 1/08 , H03H 9/17 F , H04R 17/00 330 K

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-246911
特開平1-098311
特開昭60-103709

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