特許

J-GLOBAL ID：200903004671634730

弾性表面波デバイス及びその製造方法

発明者： 松倉 徳丞
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066787
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269771
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】保護膜成膜時にIDTの損失や基板表層部の剥がれ等の問題が生じず、導電性粉塵による電気的特性劣化や湿気による腐食等の影響の少ない弾性表面波デバイス及びその製造方法の提供。【解決手段】圧電基板(図1の3)上に形成された櫛状の金属電極(図1の2)からなる入出力用変換器の保護膜(図1の1)として、炭化物又は水素に対するゲッタ効果を有するチタニウム酸化物を常温によるその場成長で連続成膜したものを用いる。

請求項（抜粋）：

基板上に櫛状の金属電極からなる入出力用変換器が形成され、該金属電極の表面が金属酸化膜で保護されてなる弾性表面波デバイスにおいて、前記金属酸化膜を構成する金属材料が、炭化物又は水素に対するゲッタ効果を有する材料を含む、ことを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 A

Fターム (6件)：

5J097AA25 ,  5J097AA27 ,  5J097DD29 ,  5J097HA02 ,  5J097HB08 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波モジュール素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112756   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭52-063643