特許
J-GLOBAL ID:200903004702336890
カーボンナノチューブの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-253390
公開番号(公開出願番号):特開2008-074647
出願日: 2006年09月19日
公開日(公表日): 2008年04月03日
要約:
【課題】比較的安価な材料よりなる基板を用い、シリコンウェハを用いた場合と同等な優れた特性を有するカーボンナノチューブを大量且つきわめて安価に製造できる技術を提供する。【解決手段】Ni20原子%以上を含有するNi基合金よりなる金属基板上に金属触媒の存在下にカーボンナノチューブを化学気相成長(CVD)させる方法を用い、反応雰囲気下に複数のカーボンナノチューブを成長させることを特徴とする。Ni20原子%以上を含有するNi基合金として、Ni-Fe、Ni-Cr及びNi-Fe-Crよりなる群から選ばれる1種の合金が好ましく用いられる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
Ni20原子%以上を含有するNi基合金よりなる金属基板上に金属触媒の存在下にカーボンナノチューブを化学気相成長(CVD)させる方法を用い、反応雰囲気下に複数のカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (3件):
C01B 31/02
, C22C 19/03
, C22C 19/05
FI (3件):
C01B31/02 101F
, C22C19/03 Z
, C22C19/05 Z
Fターム (19件):
4G146AA11
, 4G146AA12
, 4G146AC16B
, 4G146AD05
, 4G146AD22
, 4G146AD28
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC26
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC41
, 4G146BC42
, 4G146BC44
引用特許:
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