特許
J-GLOBAL ID：200903004762633427
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-228183
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067134
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、電子ビームを利用して、画像を取得する検査装置に関し、拡大倍率にかかわらず、常に、均一で鮮明な画像を取得することができる検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 電子ビームのビーム断面を矩形状または楕円形状に成形し、試料面上に照射する照射手段1と、電子ビームの照射により、試料から発生する二次電子、反射電子または後方散乱電子の少なくとも1種を二次ビームとして検出し、試料の画像情報を生成する電子検出手段2と、照射手段1から照射される電子ビームを試料面上に照射させ、かつ試料から発生する二次ビームを、電子検出手段2に導くウィーンフィルタ3と、試料面上に電子ビームを走査させる偏向手段4とを備えて構成する。
請求項（抜粋）：
電子ビームのビーム断面を矩形状または楕円形状に成形し、試料面上に照射する照射手段と、前記電子ビームの照射により、前記試料から発生する二次電子、反射電子または後方散乱電子の少なくとも1種を二次ビームとして検出し、前記試料の画像情報を生成する電子検出手段と、前記照射手段から照射される電子ビームを前記試料面上に照射させ、かつ前記試料から発生する二次ビームを、前記電子検出手段に導くウィーンフィルタと、前記試料面上に前記電子ビームを走査させる偏向手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/05
, H01L 21/66
H01J 37/22 502 B
, H01J 37/05
, H01L 21/66 C
, H01L 21/66 J
