特許
J-GLOBAL ID:200903004773959790

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 武 顕次郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-235430
公開番号(公開出願番号):特開平9-079929
出願日: 1995年09月13日
公開日(公表日): 1997年03月28日
要約:
【要約】【目的】 単体で動作し、使用時には補助的な機構が不要で取り扱いが容易な圧力センサを提供すること。【構成】 上部が開口した下部ケース2と、この下部ケース2の開口部を密閉するように覆い、その上部には開口部6が形成された上部ケース3と、上部ケース3の開口部6を閉鎖する可撓性を有する蓋体7と、下部ケース3内に収容され、外部圧力による蓋体7の撓みにより直接あるは間接的に変形して電気的な特性が変化する歪みセンサ4と、歪みセンサ4の電気的な特性を外部に取り出すため下部ケースを貫通して延在する一対の端子部材5,5とを有する。
請求項(抜粋):
一部が開口された筐体と、この筐体の開口部を閉鎖する可撓性を有する蓋体と、前記筐体内に収容され、外部圧力による前記蓋体の撓みにより直接あるは間接的に変形して電気的な特性が変化する歪みセンサと、この歪みセンサの前記電気的な特性を外部に取り出すための一対の端子部材とを有し、前記筐体と前記蓋体間及び前記端子部材間を密閉させたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00
FI (2件):
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭58-028635
  • 半導体加速度検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-005137   出願人:三菱電機株式会社
  • 特開昭57-147024
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