特許
J-GLOBAL ID：200903004774007068

多層膜反射鏡、及びEUV露光装置

発明者：
白石 雅之

白石 雅之 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-011272
公開番号（公開出願番号）：特開2007-194406
出願日： 2006年01月19日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】調整後に光学性能を劣化させることなく、多層膜を接地したり、多層膜に電位を与えたりすることが可能な多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】多層膜ミラー11の基板上に多層膜13を形成する前に、あらかじめ導通膜12をスパッタリングにより形成する。導通膜12は、多層膜ミラー側面の、保持部材14が勘合する部分(保持部)まで延びており、保持部材14が勘合したときに、導電膜12と保持部材14とが接触するようになっている。このようにすることで、多層膜13は、導通膜12を通じて保持部材14まで導通した状態となっている。このようにして、多層膜ミラー11を保持部材14で保持し、この状態のまま光学調整工程を行う。最終的に光学調整が完了した段階においても常に導通がはかられているので、最終工程で導線を取り付けるなどの新たな接触でミラー面形状を劣化させる恐れなく、導通をとることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に多層膜を形成してなる多層膜反射鏡であって、前記基板と前記多層膜の間に導電性膜を有し、当該導電成膜が、前記多層膜反射鏡を保持部材で保持するために前記多層膜反射鏡に設けられた保持部まで延びていることを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G21K 1/06
FI (4件)：
H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 P ,  G21K1/06 B
Fターム (3件)：
5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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