特許
J-GLOBAL ID：200903091850534269
軟X線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228809
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124111
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】 光電子の衝突を避け、さらに、放電を防ぐことのできる多層膜反射鏡を備えた軟X線露光装置を提供する。【解決手段】 多層膜反射鏡50は、絶縁性の石英ガラス基板51の反射面に、Mo/Siからなる導電性の多層膜53が成膜されている。同反射鏡50の側面は保持部材55によって鏡筒57の内壁に保持されている。多層膜53の一部には導線59が電気的に接続している。導線59は、鏡筒57の外部に延びて、電源61の負極と接続している。鏡筒57は電源61の正極に電気的に接続して接地されている。軟X線63の照射によって発生した光電子65は、相対的に正の電位が存在する鏡筒57方向に移動し、対向する多層膜への衝突を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
X線を発生させるX線光源と、このX線光源からのX線をマスクに導く照明光学系と、前記マスクからのX線を感光性基板に導く投影光学系とを有し、前記マスクのパターンを感光性基板へ転写する軟X線露光装置において、基板上に多層膜が形成され、この多層膜によって軟X線を反射させる多層膜反射鏡を複数枚有し、前記多層膜反射鏡のうち少なくとも1枚以上には、多層膜に電圧を印加して該多層膜の電位を制御する手段を具備することを特徴とする軟X線露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 503
, G03F 7/20 521
, G21K 1/06
, G21K 5/02
G03F 7/20 503
, G03F 7/20 521
, G21K 1/06 B
, G21K 1/06 M
, G21K 5/02 X
, H01L 21/30 531 A
2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046GA03
, 5F046GB01
, 5F046GB09
