特許

J-GLOBAL ID：200903004789813982

光ファイバケーブルの密封方法および投影露光装置

発明者： 吉澤 朋也
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195509
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017994
出願日： 2004年07月01日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】 本発明は、真空環境内に配置された光ファイバを収容する金属ベローズ管が周囲の環境の圧力変動が発生しても伸縮しないようにすることを目的とする。【解決手段】 光ファイバを収容する金属ベローズ管において、光ファイバよりも剛性が高く、光ファイバと同等の長さを有した一本または複数本のワイヤー状部材の端面を光ファイバに構成したフランジ部端面と金属ベローズ端面に固定することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

屈曲性を有した金属性フレキシブル管で密封された光ファイバケーブルの密封方法であって、前記フレキシブル管外部の圧力の変動による前記フレキシブル管の伸縮に起因する前記光ファイバケーブルにかかる引張又は圧縮応力を抑制する手段を備えることを特徴とする光ファイバケーブルの密封方法。

IPC (2件)：

G02B 6/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B6/00 341 ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

Fターム (6件)：

2H038AA51 ,  2H038CA42 ,  5F046BA03 ,  5F046CB04 ,  5F046GA03 ,  5F046GB09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-307840   出願人：株式会社オプトラン
• コネクター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-159721   出願人：株式会社ニコン