特許

J-GLOBAL ID：200903004808681553

チャックテーブル

発明者： 荒井 一尚 ,  南條 雅俊
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339890
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162269
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体からの吸着体の浮き上がりを防止する。【解決手段】 枠体と吸着体とから構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部を形成する。吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ状に形成し、枠体によって吸着体を押える。複数の枠体と吸着体とが同心円状に配設され、被加工物の径に対応して適宜被加工物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸着体とが交互に押える構成にする。

請求項（抜粋）：

枠体と吸着体とから構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、前記枠体と吸着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部が形成されているチャックテーブル。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  B28D 7/04

FI (3件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  B28D 7/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-281835
  
• 真空吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315078   出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ
• 特開平3-108354
  
• 特開平1-281835
  
• 特開平3-108354