特許
J-GLOBAL ID:200903004819666874
誘電体線路
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
斎藤 勲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-040475
公開番号(公開出願番号):特開2001-230608
出願日: 2000年02月18日
公開日(公表日): 2001年08月24日
要約:
【要約】【課題】誘電体材料の加工精度及び導体膜の取り付け精度のよい量産に適した誘電体線路を提供する。【解決手段】シリコン基板3の表及び裏面に導体膜1、2を形成し、ドライエッチング加工によりシリコン基板3に穴密度をかえて貫通穴4を形成し、貫通穴4の穴密度の変化により電磁波伝播部5と電磁波遮断部6を構成して誘電体導波路を実現することにより、特性のばらつきが少ない量産性に優れた誘電体線路を提供する。
請求項(抜粋):
表面及び裏面に上側及び下側導体膜を装着し、前記上側及び下側導体膜間に多数の貫通穴を形成したシリコン基板を備え、前記シリコン基板に形成した貫通穴の穴密度の変化により電磁波遮断部と電磁波伝播部とを設け、前記電磁波伝播部を通して電磁波を伝播させるようにしたことを特徴とする誘電体線路。
Fターム (1件):
引用特許:
審査官引用 (5件)
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誘電体線路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-023879
出願人:株式会社村田製作所
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NRDガイド分配結合器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-152080
出願人:日産自動車株式会社
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アンテナ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-345021
出願人:八木アンテナ株式会社, 米山務, 我妻寿彦
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半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-331940
出願人:三菱電機株式会社
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特開昭57-166701
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