特許
J-GLOBAL ID：200903004824638552
ダイヤモンドの合成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178392
公開番号（公開出願番号）：特開平5-024984
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、ダイヤモンドの合成方法に関し、特に、筒形状の母材の内壁を含む全面にダイヤモンド膜を形成させることを特徴とする。【構成】 本発明によるダイヤモンドの合成方法は、プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記母材(4)の形状は筒形をなし、前記母材(4)の内部空隙部(4A)内にマイクロ波(1)を導入するためのアンテナ(20)を配設し、前記母材(4)の内壁(4a)を含む全面にダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素膜を合成させる構成である。
請求項（抜粋）：
プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記母材(4)の形状は筒形をなし、前記母材(4)の内部空隙部(4A)内にマイクロ波(1)を導入するためのアンテナ(20)を配設し、前記母材(4)の内壁(4a)を含む全面にダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素膜を合成させることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, C23C 16/52
