特許
J-GLOBAL ID：200903004841873794
検査条件データ管理方法及びシステム並びにプログラム、検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
一色 健輔
, 原島 典孝
, 黒川 恵
, 吉田 浩二
, 青木 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-247219
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087820
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】検査条件データ管理方法及びシステム並びにプログラム、検査装置を提供する。【解決手段】入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出しこの検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、を含む方法。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データをコンピュータにより作成する方法であって、
前記コンピュータが、入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、
前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、
該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、
前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、
検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、
を含むことを特徴とする検査条件データ管理方法。
IPC (3件)：
H01L21/02
, G01N21/956
, H01L21/66
H01L21/02 Z
, G01N21/956 A
, H01L21/66 Z
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051CB05
, 2G051DA05
, 2G051DA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051ED08
, 2G051FA01
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA38
, 4M106CA41
, 4M106DB08
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ23
, 4M106DJ26
, 4M106DJ38
