特許
J-GLOBAL ID：200903039369722645
欠陥分類方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152663
公開番号（公開出願番号）：特開2001-331784
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】欠陥検査装置で検出された半導体ウェハの製造工程で発生した欠陥について、その欠陥部位の画像を用いて、その欠陥の発生原因対策に必要な情報および、該検査ウェハの歩留まりの予測に必要な情報を出力できる画像自動分類方法及びその装置を提供する。【解決手段】欠陥分類装置を、被検査対象を撮像する撮像手段と、この撮像手段で撮像して得た画像から欠陥候補の画像を抽出する欠陥候補抽出手段と、この欠陥候補抽出手段で抽出した欠陥候補の画像を第1のカテゴリに分類する第1のカテゴリ分類手段と、欠陥候補抽出手段で抽出した欠陥候補の画像を第2のカテゴリに分類する第2のカテゴリ分類手段と、欠陥候補の画像と第1のカテゴリ分類手段で分類した欠陥候補の第1のカテゴリ情報と第2のカテゴリ分類手段で分類した欠陥候補の第2のカテゴリの情報とを出力する出力手段とを備えて構成した。
請求項（抜粋）：
被検査対象を撮像して得た画像を用いて前記被検査対象の欠陥を分類する欠陥分類方法であって、被検査対象を撮像し、該撮像により得た画像から欠陥候補の画像を抽出し、該抽出した欠陥候補の画像を第1のカテゴリで分類し、前記抽出した欠陥候補の画像を第2のカテゴリで分類し、前記抽出した欠陥候補の画像と該欠陥候補に関する前記第1のカテゴリによる分類の情報と前記第2のカテゴリによる分類の情報とを同一の画面上に表示することを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (4件)：
G06T 1/00 305
, G01N 21/956
, G01N 23/225
, H01L 21/66
G06T 1/00 305 A
, G01N 21/956 A
, G01N 23/225
, H01L 21/66 J
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001FA21
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001JA03
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051EA12
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G051ED21
, 2G051FA01
, 4M106AA01
, 4M106CA38
, 4M106CA40
, 4M106CA41
, 4M106DB05
, 4M106DB21
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
, 4M106DJ26
, 5B057AA03
, 5B057BA01
, 5B057BA15
, 5B057CE09
, 5B057CE12
, 5B057DA03
, 5B057DA12
, 5B057DC22
, 5B057DC33
