特許

J-GLOBAL ID：200903004881144507

試料分析装置

発明者： 小池 紘民
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248217
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 試料表面に存在する微量物質の分析の容易化を図ること、電子ビームの照射により試料の表面から発生したカソードルミネッセンスを効率よく集光することのできる試料分析装置を主として提供する。【構成】 本発明に係わる試料分析装置は、電子ビームを試料9の表面に照射するための照射部1と、電子ビームの照射方向に対して試料9の表面Sを傾斜させて試料9を支持する試料ステージ3と、電子ビームの照射により試料9の表面Sから発生した光を集光する集光ミラー10と、集光ミラーに10よって集光されたカソードルミネッセンスを検出する光検出部13とを有し、集光ミラー10はその焦点が試料9の表面のビーム照射箇所にほぼ一致されてその光軸1eが試料ステージ3の傾斜軸にほぼ並行に配置されている。

請求項（抜粋）：

ビームを試料面に照射するための照射部と、前記ビームの照射方向に対して試料面を傾斜させて試料を支持する支持部と、前記ビームの照射により前記試料面から発生した光を集光する集光ミラーと、前記集光ミラーによって集光された光を検出する光検出部とを有し、前記集光ミラーはその焦点が前記試料表面のビーム照射箇所にほぼ一致されて、その光軸が前記支持部の傾斜軸とほぼ平行方向に配置されていることを特徴とする試料分析装置。

IPC (8件)：

G01B 11/30 102 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/62 ,  G01N 23/225 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-195336
  
• 光走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106695   出願人：日本板硝子株式会社