レーザ測長機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229853
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072719
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】レーザ光の寿命を検出できるようにした測長機の提供。【解決手段】レーザ測長機のレーザヘッド1内には、レーザチューブ4と、レーザチューブ4の出光面に配置された偏光ビームスプリッタ5、1/2波長板6、およびビーム拡大器7からなる送光部、および受光部8が内蔵されている。偏光ビームスプリッタ5により前記測定系の光路から分波されたS波の光路中には受光素子10が配置され、受光素子10によって検出された光量は、これに応じた電気量に変換されて電流-電圧変換回路12により電圧変換される。変換回路12の出力端は比較手段であるコンパレータ14の一方側入力端に接続している。また、コンパレータ14の他方側入力端には基準電圧設定回路16が接続されている。コンパレータ14の出力端は、スイッチング回路18を介して寿命警告表示のためのLED20に接続されている。

請求項（抜粋）：

所定波長のレーザ光を出射するレーザチューブを有するレーザヘッドと、前記レーザ光を相互に直交する2つの成分波に分波する分波手段と、この分波手段から出射した一方の成分波の一部を測定光としてターゲットプリズムに照射するとともに、前記成分波の残りを参照光として反射プリズムに照射し、前記ターゲットプリズムからの反射光と前記参照光とを干渉させた干渉光を出射する干渉計と、前記干渉光を受光する受光手段とを備え、前記ターゲットプリズムを移動させたときの前記干渉光の干渉状態の変化から、前記ターゲットプリズムの移動量を求めるレーザ測長機において、分波された他方の成分波の光路中に配置され、当該成分波の光強度を検出する光強度検出手段と、前記レーザチューブの光強度の下限値を予め設定する基準強度設定手段と、前記光強度検出検出の検出値と前記基準強度設定手段の下限値とを比較し、前記検出値が前記下限値を下回ったときに出力信号を送出する比較手段と、前記比較手段の出力信号を受けて警告表示を行う寿命警告手段とを備えたことを特徴とするレーザ測長機。

IPC (2件)：

G01B 11/02 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/02 G , G01B 9/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体レーザ測長器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-113466 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-025147
特開昭63-043386

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