特許
J-GLOBAL ID：200903004927652847
表面検査方法
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-236011
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092100
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 カメラにより撮像した受光画像に基づき被検査表面の検査を行なう表面検査方法において、カメラと被検査物との間に相対的な位置ずれが生じている場合でも、受光画像中の非検査領域に対して正確にかつ自動的にマスキング処理を施して表面検査を行なうことを可能にする。【構成】被検査表面に検査光を照射し、該被検査表面から反射された反射光を受光して受光画像を形成し、該受光画像をその画像データに基づく値例えば輝度に応じて該受光画像中のボルト穴等に対応する非検査領域6には零を、それ以外の検査領域30には零以外の値を付与して2値化し、この2値化した2値化画像と上記受光画像とを乗算して上記非検査領域6の画像データは零とするマスキング処理を施し、このマスキング処理を施したマスキング画像を画像処理して上記被検査表面の検査を行なう。
請求項（抜粋）：
被検査表面に検査光を照射し、該被検査表面から反射された反射光を受光して受光画像を形成し、該受光画像中の非検査領域に対してマスキング処理を施した上で上記受光画像を画像処理して上記被検査表面の検査を行なう表面検査方法であって、上記受光画像をその画像データに基づく値に応じて上記非検査領域には零を、検査領域には零以外の値を付与して2値化し、この2値化した2値化画像と上記受光画像とを乗算してマスキング処理を施し、このマスキング処理を施したマスキング画像を画像処理して上記被検査表面の検査を行なうことを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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