特許
J-GLOBAL ID：200903005006411344
マイクロアクチュエータ、能動型マイクロ光学素子、及び、画像表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242361
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075224
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】上部にマイクロ光学素子を有する上下に電極を持つアクチュエータにおいて、上下の電極面積が異なる為駆動電圧が大きくなる。また、中間電極に電荷が溜まり吸着の原因になる。一方、中間電極と上下電極を絶縁層を介して接触しても吸着等の弊害をおこす。【解決手段】電極間間隔201,202を電極面積に応じ変える。中間電極を隣のばね支柱に駆動毎に接触させる。ばね、又は、接合部103、導光部をストッパーにし、中間電極と上下電極の接触を避ける。
請求項（抜粋）：
マイクロ光学素子とマイクロアクチュエータを有する能動型光学素子において、中間電極の上下に電極を有し、マイクロアクチュエータのばね支持部が1つで、1本のばねにより中間電極を支えている構造を持ち、中間電極にマイクロ光学素子との結合部が有り、1ヶ所以上の結合部によりマイクロ光学素子と結合されていることを特徴とする能動型マイクロ光学素子。
Fターム (11件)：
2H041AA04
, 2H041AB00
, 2H041AB10
, 2H041AB12
, 2H041AB36
, 2H041AB40
, 2H041AC00
, 2H041AC06
, 2H041AC08
, 2H041AC10
, 2H041AZ02
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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