特許
J-GLOBAL ID：200903005030681190

表面検査装置

発明者：
長谷川 昇

長谷川 昇 について

, 
浜田 直也

浜田 直也 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (2件)： 矢葺 知之 ,  津波古 繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-230737
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069571
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】光学式表面検査装置では検出が不可能であった、粗面中にある微小な凹凸形状を検出する。【解決手段】マイクロ波発生器と、該マイクロ波を被測定対象面に導く第1の光学系と、被測定対象面からの反射波を検出するマイクロ波検出器と、前記反射波を前記マイクロ波検出器に導く第2の光学系と、測定位置ごとの検出信号を処理して信号強度分布を求め、求めた信号強度分布から前記金属の表面形状を決定する信号処理装置と、被測定対象の移動機構とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属の表面形状を検査するための表面検査装置であって、マイクロ波発生器と、該マイクロ波を被測定対象面に導く第1の光学系と、被測定対象面からの反射波を検出するマイクロ波検出器と、前記反射波を前記マイクロ波検出器に導く第2の光学系と、測定位置ごとの検出信号を処理して信号強度分布を求め、求めた信号強度分布から前記金属の表面形状を決定する信号処理装置と、被測定対象の移動機構とを兼ね備えた表面検査装置。
IPC (5件)：
G01B15/00 ,  G01N21/892 ,  G01N21/95 ,  G01N22/00 ,  G01N22/02
FI (7件)：
G01B15/00 C ,  G01N21/892 B ,  G01N21/95 Z ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 U ,  G01N22/00 V ,  G01N22/02 Z
Fターム (12件)：
2F067AA45 ,  2F067AA51 ,  2F067DD01 ,  2F067EE10 ,  2F067GG08 ,  2F067HH03 ,  2F067JJ02 ,  2F067KK11 ,  2F067LL18 ,  2F067NN03 ,  2F067RR08 ,  2F067RR14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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