特許
J-GLOBAL ID：200903005032381046
高感度分析電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042427
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237602
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】電子顕微鏡の試料を傾斜させても高感度で元素分析を行うための検出効率の向上。【解決手段】試料の2つの傾斜軸に対して垂直で、傾斜軸と約45°をなす面上に複数の特性X線検出器を設置することを特徴とする分析電子顕微鏡。【効果】試料の傾斜角度に影響されずに高感度で元素分析が可能な分析電子顕微鏡が実現できる。
請求項（抜粋）：
特性X線検出器を備えた元素分析が可能な分析電子顕微鏡において、試料の2つの傾斜軸に垂直で、かつ傾斜軸を含まない面上に複数の特性X線検出器を設置したことを特徴とする分析電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, H01J 37/244
H01J 37/252 A
, H01J 37/244
